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資料種別 記事・論文

Application of PSI/SCM microscope for nanoindentation tester

藤塚 将行,山口 誠,上野 滋 他

詳細情報

タイトル Application of PSI/SCM microscope for nanoindentation tester
著者 藤塚 将行
著者 山口 誠
著者 上野 滋 他
出版年 2010-07
別タイトル 共焦点・位相シフト干渉顕微鏡のナノインデンターへの応用
件名(キーワード) Residual impression
件名(キーワード) PSI/SCM microscope
件名(キーワード) Surface observation
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 0289243X
掲載誌情報(ISSNL形式) 0289243X
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000025561-00
掲載誌名 技研所報
掲載巻 46
掲載号 3
掲載通号 141
掲載ページ 117~120
言語(ISO639-2形式) eng : English

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