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資料種別 記事・論文

クリーンルーム有機物汚染用QCMセンサーの表面改質による感度の向上

田中 勲,後藤 昌秀,藤田 智治 他

詳細情報

タイトル クリーンルーム有機物汚染用QCMセンサーの表面改質による感度の向上
著者 田中 勲
著者 後藤 昌秀
著者 藤田 智治 他
出版年 2010
別タイトル Enhancing the sensitivity of quartz crystal microbalance (QCM) sensor for monitoring gaseous organic contaminants in clean rooms by use of its surface modification
件名(キーワード) Quartz crystal microbalance (QCM) sensor
件名(キーワード) gaseous organic contaminant
件名(キーワード) clean room
件名(キーワード) surface modification
件名(キーワード) molecular simulation
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 02897709
掲載誌情報(ISSNL形式) 02897709
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000040378-00
掲載誌名 材料技術 / 材料技術研究協会編集委員会 編
掲載巻 28
掲載号 3
掲載ページ 117~123
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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