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資料種別 記事・論文

Influence of crystallization thermal treatment on hysteresis loops and leakage current of PZT films grown by low temperature metal-organic chemical vapor deposition

Masruroh,佐々木 善和,小杉 雄太郎 他

詳細情報

タイトル Influence of crystallization thermal treatment on hysteresis loops and leakage current of PZT films grown by low temperature metal-organic chemical vapor deposition
著者 Masruroh
著者 佐々木 善和
著者 小杉 雄太郎 他
出版年 2010
別タイトル 有機金属低温化学蒸着によって成長させたPZT薄膜のヒステリシス曲線と漏洩電流に与える結晶化処理温度の影響
件名(キーワード) PZT thin films
件名(キーワード) low-temperature growth
件名(キーワード) MOCVD
件名(キーワード) remanent polarization
件名(キーワード) grain size
件名(キーワード) leakage current density
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 02897709
掲載誌情報(ISSNL形式) 02897709
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000040378-00
掲載誌名 材料技術 / 材料技術研究協会編集委員会 編
掲載巻 28
掲載号 3
掲載ページ 91~96
言語(ISO639-2形式) eng : English

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