サイトメニューここからこのページの先頭です

ショートカットキーの説明を開始します。画面遷移や機能実行は、説明にあるショートカットキーを同時に押した後、Enterキーを押してください。ショートカットキーの説明を聞くには、Alt+0。トップ画面の表示には、Alt+1。ログインを行うには、Alt+2。簡易検索画面の表示には、Alt+3。詳細検索画面の表示には、Alt+4。障害者向け資料検索画面の表示には、Alt+5。検索結果の並び替えを行うには、Alt+6。国立国会図書館ホームページの表示には、Alt+7。検索結果の絞り込みを行うには、Alt+8。以上でショートカットキーの説明を終わります。

ナビゲーションここから

ナビゲーションここまで

本文ここから

資料種別 記事・論文

年間特集「水」--アナリティカルレポート 気相分解/誘導結合プラズマ質量分析法を用いたシリコンウェハー表面金属分析による超純水水質評価

加藤 俊正,星 重行,野口 俊彦 他

詳細情報

タイトル 年間特集「水」--アナリティカルレポート 気相分解/誘導結合プラズマ質量分析法を用いたシリコンウェハー表面金属分析による超純水水質評価
著者 加藤 俊正
著者 星 重行
著者 野口 俊彦 他
出版年 2010-07
別タイトル Evaluation of the cleanliness of ultrapure water by the analysis for metal concentration deposited on Si wafer surface using Vapor Phase Decomposition/Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry
件名(キーワード) VPD
件名(キーワード) ICP-MS
件名(キーワード) metal contamination
件名(キーワード) ultrapure water
件名(キーワード) cleanliness
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 05251931
掲載誌情報(ISSNL形式) 05251931
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000021279-00
掲載誌名 分析化学
掲載巻 59
掲載号 7
掲載通号 678
掲載ページ 559~563
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

本文ここまで

Copyright © 2012 National Diet Library. All Rights Reserved.

フッター ここまで