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資料種別 記事・論文

In-situ observation of a MEMS-based Pb(Zr,Ti)O3 micro cantilever using micro-Raman spectroscopy

Masamichi Nishide,Maresuke Kuzuhara,Takeshi Tai 他

詳細情報

タイトル In-situ observation of a MEMS-based Pb(Zr,Ti)O3 micro cantilever using micro-Raman spectroscopy
著者 Masamichi Nishide
著者 Maresuke Kuzuhara
著者 Takeshi Tai 他
シリーズ名 Feature: Evolution of dielectric materials
出版年 2010-08
件名(キーワード) Pb(Zr,Ti)O3
件名(キーワード) Piezoelectric micro cantilever
件名(キーワード) MEMS
件名(キーワード) Micro-Raman spectroscopy
件名(キーワード) Domain switching
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 18820743
掲載誌情報(ISSNL形式) 13486535
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008532873-00
掲載誌名 Journal of the Ceramic Society of Japan
掲載巻 118
掲載号 1380
掲載ページ 644~647
言語(ISO639-2形式) eng : English

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