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資料種別 記事・論文

Influence of laser plasma soft X-ray irradiation on crystallization of a-Si film by infrared furnace annealing

Naoto Matsuo,Nobuya Isoda,Akira Heya 他

詳細情報

タイトル Influence of laser plasma soft X-ray irradiation on crystallization of a-Si film by infrared furnace annealing
著者 Naoto Matsuo
著者 Nobuya Isoda
著者 Akira Heya 他
出版年 2010-08
件名(キーワード) crystallization
件名(キーワード) a-silicon
件名(キーワード) laser plasma soft X-ray
件名(キーワード) infrared furnace annealing
件名(キーワード) bond relaxation
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13459678
掲載誌情報(ISSNL形式) 13459678
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000163280-00
掲載誌名 Materials Transactions
掲載巻 51
掲載号 8
掲載ページ 1490~1493
言語(ISO639-2形式) eng : English

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