干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直走査域100μmでの光路差変化の高精度測定
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 安達 正明河村 昌範岩尾 雄太
- 並列タイトル等
- Precision OPD change measurement in a 100-μm vertical-scanning range
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 76(7) (通号 907) 2010.7
- 掲載巻
- 76
- 掲載号
- 7
- 掲載通号
- 907