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資料種別 記事・論文

真空露光装置でのステージ温調機構の開発--2つの高性能温調アプローチ

田中 慶一

詳細情報

タイトル 真空露光装置でのステージ温調機構の開発--2つの高性能温調アプローチ
著者 田中 慶一
出版年 2010-07
別タイトル Development of stage temperature control for vacuum lithography tool: two approaches of fine temperature control
件名(キーワード) lithography
件名(キーワード) vacuum system
件名(キーワード) wafer stage
件名(キーワード) thermal management
件名(キーワード) temperature control
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSN形式) 13488716
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 13488716
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 76
掲載号 7
掲載通号 907
掲載ページ 797~803
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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