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資料種別 記事・論文

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第2報)セグメント構造クロム/ダイヤモンド状炭素膜の導入

中村 満,小谷 浩之,藤井 陽介 他

詳細情報

タイトル セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第2報)セグメント構造クロム/ダイヤモンド状炭素膜の導入
著者 中村 満
著者 小谷 浩之
著者 藤井 陽介 他
出版年 2010-07
別タイトル Surface acoustic wave linear motor using segment-structured diamond-like carbon films on contact surface (2nd report) Introduction of segment-structured chromium/diamond-like carbon film
件名(キーワード) ultrasonic motor
件名(キーワード) surface acoustic wave
件名(キーワード) diamond-like carbon
件名(キーワード) segment-structured diamond-like carbon
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSN形式) 13488716
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 13488716
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 76
掲載号 7
掲載通号 907
掲載ページ 786~790
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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