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資料種別 記事・論文

完全ドライプロセスのレーザダイシング技術--ステルスダイシング

内山 直己

詳細情報

タイトル 完全ドライプロセスのレーザダイシング技術--ステルスダイシング
著者 内山 直己
シリーズ名 特集 研究開発とイノベーションのシステム論--価値創成のための統合的アプローチ
出版年 2010-07
別タイトル Complete dry process laser dicing: the stealth dicing
件名(キーワード) laser
件名(キーワード) dicing
件名(キーワード) stealth dicing
件名(キーワード) MEMS
件名(キーワード) low-k
件名(キーワード) dry process
件名(キーワード) laser ablation
件名(キーワード) glass
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSN形式) 13488716
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 13488716
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 76
掲載号 7
掲載通号 907
掲載ページ 747~750
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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