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資料種別 記事・論文

異物起因歩留りの予測手法

小野 眞,岩田 尚史,馬場 毅 他

詳細情報

タイトル 異物起因歩留りの予測手法
著者 小野 眞
著者 岩田 尚史
著者 馬場 毅 他
出版年 2010-08
別タイトル Particle-limited yield prediction method
件名(キーワード) 管理図
件名(キーワード) 大規模集積回路
件名(キーワード) 異物
件名(キーワード) 歩留り予測
件名(キーワード) Control chart
件名(キーワード) LSI
件名(キーワード) Large-scale integrated circuit
件名(キーワード) Particle
件名(キーワード) Yield prediction
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03854221
掲載誌情報(ISSNL形式) 03854221
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015707-00
掲載誌名 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌
掲載巻 130
掲載号 8
掲載ページ 1404~1410
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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