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資料種別 記事・論文

プラズマ経由気相プロセス 物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の創製とその化学結合構造

吉武 剛

詳細情報

タイトル プラズマ経由気相プロセス 物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の創製とその化学結合構造
著者 吉武 剛
シリーズ名 ミニ特集 ナノ構造の形成プロセスと特異な性質
出版地(国名コード) JP
別タイトル Chemical bonding structures of ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films prepared by physical vapor deposition
出版年(W3CDTF) 2010-07
件名(キーワード) ultrananocrystalline diamond
件名(キーワード) UNCD
件名(キーワード) thin film
件名(キーワード) PVD
件名(キーワード) coaxial arc plasma
件名(キーワード) NEXAFS
件名(キーワード) XPS
件名(キーワード) hardness
件名(キーワード) modules
NDLC ZP41
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000090986-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13402625
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13402625
掲載誌名 まてりあ : 日本金属学会会報
掲載巻 49
掲載号 7
掲載ページ 317~319
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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