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資料種別 記事・論文

プラズマ経由気相プロセス 物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の創製とその化学結合構造

吉武 剛

詳細情報

タイトル プラズマ経由気相プロセス 物理気相成長法による超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の創製とその化学結合構造
著者 吉武 剛
シリーズ名 ミニ特集 ナノ構造の形成プロセスと特異な性質
出版年 2010-07
別タイトル Chemical bonding structures of ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films prepared by physical vapor deposition
件名(キーワード) ultrananocrystalline diamond
件名(キーワード) UNCD
件名(キーワード) thin film
件名(キーワード) PVD
件名(キーワード) coaxial arc plasma
件名(キーワード) NEXAFS
件名(キーワード) XPS
件名(キーワード) hardness
件名(キーワード) modules
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13402625
掲載誌情報(ISSNL形式) 13402625
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000090986-00
掲載誌名 まてりあ : 日本金属学会会報
掲載巻 49
掲載号 7
掲載ページ 317~319
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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