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資料種別 記事・論文

完全追従制御法を用いた大型ステージのモデルの妥当性検証と精密位置決め制御

佐伯 和明,下山 隆司,坂田 晃一 他

詳細情報

タイトル 完全追従制御法を用いた大型ステージのモデルの妥当性検証と精密位置決め制御
著者 佐伯 和明
著者 下山 隆司
著者 坂田 晃一 他
出版年 2010-08
別タイトル Investigation of an appropriate nominal model and high-precision positioning of large-scale stage using perfect tracking control
件名(キーワード) 大型ステージ
件名(キーワード) 精密位置決め
件名(キーワード) 完全追従制御法
件名(キーワード) 粘弾性モデル
件名(キーワード) large-scale stage
件名(キーワード) high-precision positioning
件名(キーワード) perfect tracking control
件名(キーワード) viscoelastic model
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09136339
掲載誌情報(ISSNL形式) 09136339
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000049402-00
掲載誌名 電気学会論文誌. D, 産業応用部門誌
掲載巻 130
掲載号 8
掲載ページ 1022~1029
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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