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資料種別 記事・論文

半導体への電界の浸みこみを考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析

植木 真治,西森 勇貴,今本 浩史 他

詳細情報

タイトル 半導体への電界の浸みこみを考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析
著者 植木 真治
著者 西森 勇貴
著者 今本 浩史 他
出版年 2010-08
別タイトル Analysis of a comb-drive actuator taking the depletion layer into consideration
件名(キーワード) 静電アクチュエータ
件名(キーワード) 櫛歯アクチュエータ
件名(キーワード) 空乏層
件名(キーワード) Electrostatic Actuator
件名(キーワード) Comb-Drive Actuator
件名(キーワード) Depletion Layer
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載巻 130
掲載号 8
掲載ページ 388~393
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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