可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察 (特集 マイクロ加工および支援技術)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 齊藤 卓志川口 達也佐藤 勲
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Experimental analysis and characterization on thermal imprint process via in-situ observation
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 130(8) 2010.8
- 掲載巻
- 130
- 掲載号
- 8