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資料種別 記事・論文

可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察

齊藤 卓志,川口 達也,佐藤 勲

詳細情報

タイトル 可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察
著者 齊藤 卓志
著者 川口 達也
著者 佐藤 勲
シリーズ名 特集 マイクロ加工および支援技術
出版年 2010-08
別タイトル Experimental analysis and characterization on thermal imprint process via in-situ observation
件名(キーワード) 熱インプリント法
件名(キーワード) 熱可塑性樹脂
件名(キーワード) その場観察
件名(キーワード) 転写
件名(キーワード) Thermal Imprint Process
件名(キーワード) Thermoplastic Polymeric Material
件名(キーワード) In-situ Observation
件名(キーワード) Transcription
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌
掲載巻 130
掲載号 8
掲載ページ 356~362
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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