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資料種別 記事・論文

軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製

後藤 正英,萩原 啓,井口 義則 他

詳細情報

タイトル 軟X線照射によるシリコンマイクロホン用エレクトレットの作製
著者 後藤 正英
著者 萩原 啓
著者 井口 義則 他
シリーズ名 研究速報小特集 2009年 [映像情報メディア学会]年次大会・冬季大会講演
出版年 2010-07
別タイトル Fabrication of electret using soft X-ray irradiation for silicon microphone
件名(キーワード) シリコンマイクロホン
件名(キーワード) エレクトレット
件名(キーワード) 軟X線
件名(キーワード) MEMS
件名(キーワード) Micro Electro Mechanical Systems
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13426907
掲載誌情報(ISSNL形式) 13426907
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000100496-00
掲載誌名 映像情報メディア学会誌 / 映像情報メディア学会 [編]
掲載巻 64
掲載号 7
掲載通号 742
掲載ページ 1003~1006
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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