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産総研コーナー 高真空・超高真空における真空計測の定量測定 : 標準コンダクタンスエレメントを用いた電離真空計や分圧真空計の"その場"校正技術の開発

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産総研コーナー 高真空・超高真空における真空計測の定量測定 : 標準コンダクタンスエレメントを用いた電離真空計や分圧真空計の"その場"校正技術の開発

国立国会図書館請求記号
Z4-183
国立国会図書館書誌ID
026162063
資料種別
記事
著者
吉田 肇
出版者
東京 : 日本計量振興協会 ; 2005-
出版年
2015-02-20
資料形態
掲載誌名
計測標準と計量管理 64(4):2015.2.20
掲載ページ
p.49-58
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資料種別
記事
著者・編者
吉田 肇
著者標目
タイトル(掲載誌)
計測標準と計量管理
巻号年月日等(掲載誌)
64(4):2015.2.20
掲載巻
64
掲載号
4
掲載ページ
49-58
掲載年月日(W3CDTF)
2015-02-20