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資料種別 記事・論文

産総研コーナー 高真空・超高真空における真空計測の定量測定 : 標準コンダクタンスエレメントを用いた電離真空計や分圧真空計の"その場"校正技術の開発

吉田 肇

詳細情報

タイトル 産総研コーナー 高真空・超高真空における真空計測の定量測定 : 標準コンダクタンスエレメントを用いた電離真空計や分圧真空計の"その場"校正技術の開発
著者 吉田 肇
出版年 2015-02-20
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 18801420
掲載誌情報(ISSNL形式) 18801420
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007688512-00
掲載誌名 計測標準と計量管理
掲載巻 64
掲載号 4
掲載ページ 49-58
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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