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資料種別 記事・論文

非接触微細形状計測システム白色光干渉計搭載型画像測定機QV-WLI、及びPFF

真家 洋武,浅野 秀光,長濱 龍也 他

詳細情報

タイトル 非接触微細形状計測システム白色光干渉計搭載型画像測定機QV-WLI、及びPFF
著者 真家 洋武
著者 浅野 秀光
著者 長濱 龍也 他
出版年 2012
別タイトル Non-contact minute form measurement system White Light Interferometer mounted vision measuring machine QV-WLI, and PFF
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008581114-00
掲載誌名 光計測シンポジウム論文集
掲載ページ 42-44
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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