ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源 (小特集 プラズマ応用技術の新展開)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 行村 建小木曽 久人中野 禅
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- 1 Inch-sized HiPIMS Glow Plasma Source for “Minimal Fab Manufacturing System”
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 117(1148):2014.7
- 掲載巻
- 117
- 掲載号
- 1148