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資料種別 記事・論文

Evaluation of Template Release Energy with Use of Fluorinated Segregation Agents for UV Nanoimprint Resists

Naoto Nakamura,Tsuneo Yamashita,Takuya Kitagawa 他

詳細情報

タイトル Evaluation of Template Release Energy with Use of Fluorinated Segregation Agents for UV Nanoimprint Resists
著者 Naoto Nakamura
著者 Tsuneo Yamashita
著者 Takuya Kitagawa 他
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2014
件名(キーワード) Nanoimprint
件名(キーワード) adhesion
件名(キーワード) surface energy
件名(キーワード) segregation
件名(キーワード) template release
件名(キーワード) defect
NDLC ZP48
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09149244
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 27
掲載号 1
掲載ページ 111-115
言語(ISO639-2形式) eng : English

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