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資料種別 記事・論文

Optical Observation of Deep Bulk Damage in Amorphous Perfluorocarbon Films Produced by UV Photons Emitted from Low-Pressure Argon Plasma

Takao Ono,Ryo Iizuka,Takanori Akagi 他

詳細情報

タイトル Optical Observation of Deep Bulk Damage in Amorphous Perfluorocarbon Films Produced by UV Photons Emitted from Low-Pressure Argon Plasma
著者 Takao Ono
著者 Ryo Iizuka
著者 Takanori Akagi 他
出版年 2014
件名(キーワード) plasma induced damage
件名(キーワード) 3D profiling
件名(キーワード) total internal reflection fluorescence microscopy
件名(キーワード) amorphous perfluorocarbon
件名(キーワード) argon plasma
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 27
掲載号 3
掲載ページ 393-398
言語(ISO639-2形式) eng : English

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