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資料種別 記事・論文

Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas

Shinji Matsui,Hiroshi Hiroshima,Yoshihiko Hirai 他

詳細情報

タイトル Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas
著者 Shinji Matsui
著者 Hiroshi Hiroshima
著者 Yoshihiko Hirai 他
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2014
件名(キーワード) UV nanoimprint
件名(キーワード) lithography
件名(キーワード) condensable gas
件名(キーワード) pentafluoropropane
件名(キーワード) throughput
件名(キーワード) demolding force
件名(キーワード) UV resin
件名(キーワード) solubility parameter
件名(キーワード) simulation
NDLC ZP48
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09149244
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 27
掲載号 1
掲載ページ 61-72
言語(ISO639-2形式) eng : English

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