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資料種別 記事・論文

Lithography Process Simulations using OCTA-Application to Development and DSA

Hiroshi Morita

詳細情報

タイトル Lithography Process Simulations using OCTA-Application to Development and DSA
著者 Hiroshi Morita
出版年 2014
件名(キーワード) OCTA
件名(キーワード) Dissipative particle dynamics
件名(キーワード) density biased Monte Carlo
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 27
掲載号 1
掲載ページ 25-29
言語(ISO639-2形式) eng : English

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