Cr薄膜形成におけるSi基板酸化層の反射率への影響

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Cr薄膜形成におけるSi基板酸化層の反射率への影響

国立国会図書館請求記号
Z14-451
国立国会図書館書誌ID
025602171
資料種別
記事
著者
山田 雄一ほか
出版者
日野 : 明星大学
出版年
2012
資料形態
掲載誌名
明星大学理工学部研究紀要 = Research bulletin of Meisei University. Physical sciences and engineering (48):2012
掲載ページ
p.1-3
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
山田 雄一
高橋 雄太郎
合田 一夫
並列タイトル等
Effect of Si substrate oxidization on reflectance for Cr thin film
タイトル(掲載誌)
明星大学理工学部研究紀要 = Research bulletin of Meisei University. Physical sciences and engineering
巻号年月日等(掲載誌)
(48):2012
掲載号
48
掲載ページ
1-3
掲載年月日(W3CDTF)
2012