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資料種別 記事・論文

Effects of Etching Surface Roughness on the Fatigue Characteristics of Single-Crystal Silicon

Tsuyoshi Ikehara,Toshiyuki Tsuchiya

詳細情報

タイトル Effects of Etching Surface Roughness on the Fatigue Characteristics of Single-Crystal Silicon
著者 Tsuyoshi Ikehara
著者 Toshiyuki Tsuchiya
出版年 2014-02
件名(キーワード) Fatigue test
件名(キーワード) Single-crystal silicon
件名(キーワード) Resonator
件名(キーワード) Surface roughness
件名(キーワード) Lifetime
件名(キーワード) Reliability
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
掲載巻 134
掲載号 2
掲載ページ 32-37
言語(ISO639-2形式) eng : English

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