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フォトリソグラフィを用いたMOEMS技術の教材開発(第3報)マイクロ光電子デバイスの設計及び基礎特性の評価

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フォトリソグラフィを用いたMOEMS技術の教材開発(第3報)マイクロ光電子デバイスの設計及び基礎特性の評価

国立国会図書館請求記号
Z14-467
国立国会図書館書誌ID
025243610
資料種別
記事
著者
新國 広幸ほか
出版者
八王子 : 東京工業高等専門学校
出版年
2014-01
資料形態
掲載誌名
東京工業高等専門学校研究報告書 = Research reports of Tokyo National College of Technology / 東京工業高等専門学校図書委員会 編 (45)(2):2014.1
掲載ページ
p.73-80
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
新國 広幸
伊藤 浩
並列タイトル等
Development of Teaching Materials for MOEMS Technology by Using Photolithography(3rd Report)Design and Evaluation of Basic Characteristics for Micro-Opto-Electro Device
タイトル(掲載誌)
東京工業高等専門学校研究報告書 = Research reports of Tokyo National College of Technology / 東京工業高等専門学校図書委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
(45)(2):2014.1
掲載号
45
掲載通号
2
掲載ページ
73-80