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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 三木 靖浩福垣内 学
- 並列タイトル等
- The Mechanical Properties of Si Content Carbon Film and Residual Stress Behavior in Surface of Substrate
- タイトル（掲載誌）
- 奈良県工業技術センター研究報告 = Report of Nara Prefectural Institute of Industrial Technology / 奈良県工業技術センター 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (37):2011
- 掲載号
- 37
- 掲載ページ
- 1-6
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2011