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資料種別 記事・論文

ダイアフラムを応用した油圧式変位拡大機構による位置決め装置の基礎的研究

堤 博貴,福山 拓也,畠山 稚大

詳細情報

タイトル ダイアフラムを応用した油圧式変位拡大機構による位置決め装置の基礎的研究
著者 堤 博貴
著者 福山 拓也
著者 畠山 稚大
出版年 2013-09
別タイトル Basic Research of Positioning Stage with Hydraulic Displacement Expansion Mechanism Applied by Diaphram
件名(キーワード) Micro positioning
件名(キーワード) Displacement Expansion
件名(キーワード) Diagram
件名(キーワード) Hydraulic
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 02860503
掲載誌情報(ISSNL形式) 02860503
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000016194-00
掲載誌名 東京工業高等専門学校研究報告書 / 東京工業高等専門学校図書委員会 編
掲載号 45
掲載通号 1
掲載ページ 19-23
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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