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資料種別 記事・論文

リソグラフィによるステンレスマイクロコイルと網目管の製作

坂部 展士,堀内 敏行

詳細情報

タイトル リソグラフィによるステンレスマイクロコイルと網目管の製作
著者 坂部 展士
著者 堀内 敏行
シリーズ名 特集 リソグラフィとその関連技術・応用技術
出版年 2013-10
別タイトル Fabrication of Stainless-Steel Micro-Coils and Mesh Pipes using Lithography
件名(キーワード) マイクロコイル
件名(キーワード) 網目管
件名(キーワード) ステンレス鋼
件名(キーワード) レーザ走査リソグラフィ
件名(キーワード) micro-coil
件名(キーワード) mesh pipe
件名(キーワード) stainless steel
件名(キーワード) laser-scan lithography
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03854205
掲載誌情報(ISSNL形式) 03854205
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015705-00
掲載誌名 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
掲載巻 133
掲載号 10
掲載ページ 519-525
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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