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資料種別 記事・論文

光ナノインプリントにおけるモールド全域での充填観察

廣島 洋,王 清

詳細情報

タイトル 光ナノインプリントにおけるモールド全域での充填観察
著者 廣島 洋
著者 王 清
シリーズ名 特集 リソグラフィとその関連技術・応用技術
出版年 2013-10
別タイトル Whole Field Observation of Resin Filling in UV Nanoimprint
件名(キーワード) 光ナノインプリント
件名(キーワード) 樹脂充填
件名(キーワード) 暗視野観察
件名(キーワード) UV Nanoimprint
件名(キーワード) resin filling
件名(キーワード) dark field observation
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03854205
掲載誌情報(ISSNL形式) 03854205
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000015705-00
掲載誌名 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
掲載巻 133
掲載号 10
掲載ページ 505-508
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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