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資料種別 記事・論文

高温環境下におけるSiNx/SiCyナノ積層薄膜の自己き裂治癒挙動

中谷 正憲,西村 淳樹,花木 聡 他

詳細情報

タイトル 高温環境下におけるSiNx/SiCyナノ積層薄膜の自己き裂治癒挙動
著者 中谷 正憲
著者 西村 淳樹
著者 花木 聡 他
出版年 2013-10
別タイトル Self-Crack-Healing Behavior of SiNx/SiCy Nano-Laminated Thin Film under High Temperature Environment
件名(キーワード) Self-healing
件名(キーワード) Crack
件名(キーワード) Laminated thin film
件名(キーワード) High temperature
件名(キーワード) Silicon nitride
件名(キーワード) Silicon carbide
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 05145163
掲載誌情報(ISSNL形式) 05145163
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000009135-00
掲載誌名 材料 / 日本材料学会 [編]
掲載巻 62
掲載号 10
掲載ページ 634-639
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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