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資料種別 記事・論文

MEMS開発における解析支援技術

水津 美晴,浅海 和雄,望月 俊輔

詳細情報

タイトル MEMS開発における解析支援技術
著者 水津 美晴
著者 浅海 和雄
著者 望月 俊輔
出版年 2013-10
別タイトル Simulation Technology for Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) Development
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 18822398
掲載誌情報(ISSNL形式) 18822398
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008601226-00
掲載誌名 Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
掲載巻 56
掲載号 10
掲載ページ 409-416
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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