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資料種別 記事・論文

巨大クラスターイオン衝撃によるX線光電子分光法の深さ方向分析の展開

飯島 善時,境 悠治,平岡 賢三

詳細情報

タイトル 巨大クラスターイオン衝撃によるX線光電子分光法の深さ方向分析の展開
著者 飯島 善時
著者 境 悠治
著者 平岡 賢三
シリーズ名 年間特集 空
出版年 2013-10
別タイトル In-depth Analysis of X-ray Photoelectron Spectroscopy Using Giant Cluster Ion Bombardment
件名(キーワード) XPS
件名(キーワード) depth profiling
件名(キーワード) sputter etching
件名(キーワード) water droplet cluster ion beam
件名(キーワード) sample damage
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 05251931
掲載誌情報(ISSNL形式) 05251931
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000021279-00
掲載誌名 分析化学
掲載巻 62
掲載号 10
掲載通号 717
掲載ページ 865-878
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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