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資料種別 記事・論文

プラズマナノ加工における表面ラフネスとリップル形成機構

斧 高一,津田 博隆,中崎 暢也 他

詳細情報

タイトル プラズマナノ加工における表面ラフネスとリップル形成機構
著者 斧 高一
著者 津田 博隆
著者 中崎 暢也 他
シリーズ名 特集 ナノ材料のプラズマプロセシング
出版年 2013-10
別タイトル Plasma Etch Challenges for Nanoscale ULSI Device Fabrication : Modeling and Simulation of Surface Roughening and Rippling during Plasma Etching of Si
件名(キーワード) plasma etching
件名(キーワード) surface roughening and rippling
件名(キーワード) line edge roughness
件名(キーワード) line width roughness
件名(キーワード) ULSI
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03885321
掲載誌情報(ISSNL形式) 03885321
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000033734-00
掲載誌名 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
掲載巻 34
掲載号 10
掲載ページ 528-534
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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