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資料種別 記事・論文

超精密加工専門委員会 原子制御製造プロセスの創出に向けて

安武 潔

詳細情報

タイトル 超精密加工専門委員会 原子制御製造プロセスの創出に向けて
著者 安武 潔
シリーズ名 特集 専門委員会・分科会研究レビュー
出版年 2013-10
別タイトル Atomically Controlled Fabrication Process as the Next Generation Ultra-Precision Machining Technology
件名(キーワード) ultra-precision machining
件名(キーワード) atomically controlled fabrication process
件名(キーワード) hard-X-ray focusing
件名(キーワード) neutron focusing
件名(キーワード) atmospheric pressure plasma enhanced chemical transport
件名(キーワード) functional materials
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 79
掲載号 10
掲載通号 946
掲載ページ 887-890
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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