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資料種別 記事・論文

アモルファス酸化物半導体薄膜の分析・評価技術

林 和志,日野 綾,岸 智弥 他

詳細情報

タイトル アモルファス酸化物半導体薄膜の分析・評価技術
著者 林 和志
著者 日野 綾
著者 岸 智弥 他
シリーズ名 ワイドバンドギャップ材料の基礎研究の充実と新たな応用
出版年 2013-10
別タイトル Analysis and evaluation techniques of amorphous oxide semiconductor thin films
件名(キーワード) amorphous oxide semiconductor
件名(キーワード) IGZO
件名(キーワード) Thin-Film Transistor (TFT)
件名(キーワード) electronic structures
件名(キーワード) gap states
件名(キーワード) Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy (ICTS)
件名(キーワード) PhotoInduced Transient Spectroscopy (PITS)
件名(キーワード) microwave-detected photoconductivity decay
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03698009
掲載誌情報(ISSNL形式) 03698009
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000002415-00
掲載誌名 応用物理
掲載巻 82
掲載号 10
掲載ページ 871-875
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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