SiC単結晶エピタキシャルウェーハの高品質化 (ワイドバンドギャップ材料の基礎研究の充実と新たな応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 大谷 昇
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Toward the realization of high quality SiC epitaxial wafers
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 82(10):2013.10
- 掲載巻
- 82
- 掲載号
- 10