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資料種別 記事・論文

電極加熱による低発塵コロナ放電式イオナイザーの開発

佐藤 朋且,鈴木 政典,水野 彰

詳細情報

タイトル 電極加熱による低発塵コロナ放電式イオナイザーの開発
著者 佐藤 朋且
著者 鈴木 政典
著者 水野 彰
出版年 2013-09
別タイトル Development of Low-particle-emission Corona Discharge Ionizer by Electrode Heating
件名(キーワード) クリーンルーム
件名(キーワード) イオナイザー
件名(キーワード) シロキサン
件名(キーワード) コロナ放電
件名(キーワード) 熱泳動力
件名(キーワード) 沈着速度
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03862550
掲載誌情報(ISSNL形式) 03862550
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000030395-00
掲載誌名 静電気学会誌 / 静電気学会 編
掲載巻 37
掲載号 5
掲載通号 216
掲載ページ 215-220
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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