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資料種別 記事・論文

酸化物/YSZ界面へのAuスパッタによるガス検知特性への影響

佐藤 伴光,池田 弘,三浦 則雄

詳細情報

タイトル 酸化物/YSZ界面へのAuスパッタによるガス検知特性への影響
著者 佐藤 伴光
著者 池田 弘
著者 三浦 則雄
出版年 2013-09
別タイトル EFFECT OF Au SPUTTERING TO OXIDE/YSZ INTERFACE ON GAS SENSING PERFORMANCE
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000099409-00
掲載誌名 Proceedings of the Chemical Sensor Symposium
掲載巻 55
掲載ページ 88-90
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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