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資料種別 記事・論文

時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性

谷山 彰,小北 雄亮,平井 義和 他

詳細情報

タイトル 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性
著者 谷山 彰
著者 小北 雄亮
著者 平井 義和 他
シリーズ名 2013年度年次講演会
出版年 2013
別タイトル Dynamic response of pull-in type MEMS optical chopper for time-resolved micro-Raman spectroscopy
件名(キーワード) Micro Raman Spectroscopy
件名(キーワード) Stress Analysis
件名(キーワード) Time Resolved Analysis
件名(キーワード) Silicon Resonator
件名(キーワード) MEMS
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13464922
掲載誌情報(ISSNL形式) 13464922
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000003535470-00
掲載誌名 日本実験力学会講演論文集
掲載号 13
掲載ページ 129-131
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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