金属・合金/誘電体ナ...

金属・合金/誘電体ナノ積層化による低抵抗透明導電フィルム (小特集 最近のスパッタリング動向)

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金属・合金/誘電体ナノ積層化による低抵抗透明導電フィルム

(小特集 最近のスパッタリング動向)

国立国会図書館請求記号
Z17-291
国立国会図書館書誌ID
024713376
資料種別
記事
著者
小川 倉一
出版者
東京 : 表面技術協会
出版年
2013-07
資料形態
掲載誌名
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 64(7):2013.7
掲載ページ
p.382-385
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
小川 倉一
著者標目
並列タイトル等
Low Resistivity Transparent Conductive Film of the Metal Alloy/Dielectric Nano-Multilayer by Sputtering
タイトル(掲載誌)
表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
64(7):2013.7
掲載巻
64
掲載号
7