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資料種別 記事・論文

Understanding EUV Shot Noise : Comparing Theory and Requirements to Experimental Evidence

Mark Neisser,KyoungYong Cho,Chandra Sarma 他

詳細情報

タイトル Understanding EUV Shot Noise : Comparing Theory and Requirements to Experimental Evidence
著者 Mark Neisser
著者 KyoungYong Cho
著者 Chandra Sarma 他
出版年 2013
件名(キーワード) photoresist
件名(キーワード) EUV
件名(キーワード) contact holes
件名(キーワード) shot noise
件名(キーワード) CDU
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 26
掲載号 5
掲載ページ 617-623
言語(ISO639-2形式) eng : English

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