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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 宮下 大北見 尚久酒見 俊之 他
- 並列タイトル著者・編者
- Monte-Carlo Collision method
- 並列タイトル等
- The design of 4gun Reactive Plasma Deposition equipment by using 3 Dimensional Hybrid Particle In Cell
- タイトル（掲載誌）
- 計算工学講演会論文集 = Proceedings of the Conference on Computational Engineering and Science / 日本計算工学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 18:2013.6
- 掲載巻
- 18
- 掲載ページ
- 4p