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資料種別 記事・論文

3DハイブリッドPIC/MCC法による4ガンRPD装置設計

宮下 大,北見 尚久,酒見 俊之 他

詳細情報

タイトル 3DハイブリッドPIC/MCC法による4ガンRPD装置設計
著者 宮下 大
著者 北見 尚久
著者 酒見 俊之 他
出版年 2013-06
別タイトル The design of 4gun Reactive Plasma Deposition equipment by using 3 Dimensional Hybrid Particle In Cell / Monte-Carlo Collision method
件名(キーワード) Reactive Plasma Deposition
件名(キーワード) Hybrid PIC/MCC
件名(キーワード) plasma modeling
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I024157442-00
掲載誌名 計算工学講演会論文集 Proceedings of the Conference on Computational Engineering and Science / 日本計算工学会 編
掲載巻 18
掲載ページ 4p
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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