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資料種別 記事・論文

空気静圧軸受型ガラス基板搬送装置における薄板ガラスの浮上・変形特性

大岩 尚樹,平山 朋子,松岡 敬 他

詳細情報

タイトル 空気静圧軸受型ガラス基板搬送装置における薄板ガラスの浮上・変形特性
著者 大岩 尚樹
著者 平山 朋子
著者 松岡 敬 他
出版年 2013-06
別タイトル Levitation and Deformation Characteristics of Thin Glass Substrate on Non-Contact Aerostatic Conveyer
件名(キーワード) non-contact aerostatic conveyer
件名(キーワード) glass substrate
件名(キーワード) deformation
件名(キーワード) inherent orifice restrictor
件名(キーワード) thin plate theory
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSNL形式) 09120289
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 79
掲載号 6
掲載通号 942
掲載ページ 559-564
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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