開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 内藤 皓貴紺野 伸顕徳永 隆志 他
- 並列タイトル等
- Development of the Local Ambient Gas Control Technology and its Application to Atmospheric Pressure Plasma Processes
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 133(5):2013.5
- 掲載巻
- 133
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 164-169