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資料種別 記事・論文

開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発

内藤 皓貴,紺野 伸顕,徳永 隆志 他

詳細情報

タイトル 開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発
著者 内藤 皓貴
著者 紺野 伸顕
著者 徳永 隆志 他
出版年 2013-05
別タイトル Development of the Local Ambient Gas Control Technology and its Application to Atmospheric Pressure Plasma Processes
件名(キーワード) 局所雰囲気制御
件名(キーワード) 解放系
件名(キーワード) 大気圧
件名(キーワード) プラズマプロセス
件名(キーワード) Local ambient gas control
件名(キーワード) Open air system
件名(キーワード) Atmospheric pressure
件名(キーワード) Plasma process
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 13418939
掲載誌情報(ISSNL形式) 13418939
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000097980-00
掲載誌名 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
掲載巻 133
掲載号 5
掲載ページ 164-169
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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