MEMS構造に損傷を与えないパーティクル除去方法
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 平野 栄樹Mahmoud RaslyNeelam Kaushik 他
- 並列タイトル等
- Particle Removal without Causing Damage to MEMS Structure
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 133(5):2013.5
- 掲載巻
- 133
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 157-163